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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心低溫和探針臺(tái)顯微冷熱臺(tái)MHS400V-4P探針冷熱臺(tái)

MHS400V-4P探針冷熱臺(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MHS400V-4P探針冷熱臺(tái)是一款專門針對(duì)半導(dǎo)體芯片研發(fā)、測(cè)試而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。這款探針冷熱臺(tái)擁有高精度的探針位移平臺(tái),具有良好的真空性能和精準(zhǔn)的溫控系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-09-17
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:357
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  • 溫度范圍: -196℃~600℃

  • 加熱區(qū): φ30mm

  • 探針行程: 14mm

  • 探針位移精度 1μm

  • 探針針尖直徑(默認(rèn)) 100μm

  • 物鏡工作距離: 15mm

  • 通光孔直徑: 2mm

  • 最大升溫速率: 150℃/min

  • 最慢升溫速率:0.1℃/min

  • 觀察窗: φ40mm

  • 溫控精度: 0.1℃

  • 極限真空: 1pa(機(jī)械泵),5×10^(-3)pa(分子泵)

  • 支持反射/透射模式

型號(hào)MHS300V-4PMHS400V-4PMHS600G-4P
溫控模塊加熱/制冷方式電阻加熱,液氮制冷
溫控范圍-190~300°C*-190~400°C*-190~600°C*
溫度穩(wěn)定性±0.1°C
溫度分辨率±0.1°C
最大升溫速率0~100°C/min (可定點(diǎn)/程序段控溫)
溫控方式PID
溫度傳感器PT100
光學(xué)特性光路反射/透射光路(可選)
視窗材質(zhì)石英玻璃*
視窗尺寸φ40mm*
視窗厚度0.5mm*
物鏡工作距離15mm*
透光孔φ2mm*
電學(xué)特性探針移動(dòng)探針模組x4 *,手動(dòng)調(diào)整XYZ
探針行程13mm
探針位移精度1μm
探針接口SMA 接口x4*
探針直徑10 / 50 / 100 μm*
結(jié)構(gòu)特性樣品臺(tái)尺寸φ30mm*
樣品臺(tái)材質(zhì)純銀*
外形尺寸180x112x26*
樣品腔高度3mm*
腔室氣密
外殼冷卻循環(huán)水
基本配置冷熱臺(tái)x1、溫控系統(tǒng)x1、低溫系統(tǒng)x1、液氮罐2Lx1、溫控軟件
選配電腦主機(jī)/平板電腦/觸控屏/安裝支架/真空系統(tǒng)/其他定制
備注以上為默認(rèn)參數(shù)  * 為可定制項(xiàng)
其他可選型號(hào)按需求進(jìn)行配置


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